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    - 中国新华新闻网

    田中贵金属开始提供新开发的高质量Au蒸镀材料“SJeva”样品

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    2018年01月10日
    成功减少了产品中的非金属夹杂物
    在半导体及医疗设备用途上,有助于提高生产效率和降低成本

    东京, 2018年1月10日 - (亚太商讯) - 田中控股株式会社(总公司:东京都千代田区、执行总裁:田苗 明)宣布田中贵金属集团旗下经营制造事业的田中贵金属工业株式会社(总公司:东京都千代田区、执行总裁:田苗 明)开始提供新开发的高质量Au蒸镀材料“SJeva”样品。由于本蒸镀材料与过去的产品相比纯度更高,所以可以通过减少贵金属使用、减少工序提高生产效率及降低成本,而且还可以提高回收再生性。

    本蒸镀材料通过改善制造方法,比过去产品成功实现了蒸镀材料中的非金属夹杂物(※1)的降低。田中贵金属工业虽然以往能生产纯度在4N(含金量99.99%)~5N(含金量99.999%)的Au蒸镀材料,但本蒸镀材料是进一步充实高纯度产品阵容的蒸镀材料。通过使用非金属夹杂物极少的蒸镀材料,减少在蒸镀材料溶解时凝结在表面的污垢成分,所以无需进行清洗。此外,高纯度蒸镀材料还可缩短成膜前的预热时间(※2),可以减少对成膜不起作用的蒸镀材料消耗,能降低成本。此外,由于本蒸镀材料的气体成分含量很少,有望带来抑制成膜时从蒸镀源产生的飞溅现象(※3)的效果,在进行高速率蒸镀时也可减少基板上的颗粒(※4)吸附数量。

    由于本蒸镀材料具有以上的特点及优势,在半导体领域内的细微配线、MEMS,以及光学装置、LED、医疗设备等的使用蒸镀材料制成的最终产品中,有望对提高终端用户的生产效率、降低成本做出贡献。

    本蒸镀材料的优势

    - 清洗工序的减少
    通常蒸镀材料根据用途会加工成丸状、板状、带状、线状、颗粒状等各种形状,但是在蒸镀时必须进行溶解。由于溶解时蒸镀材料中的非金属夹杂物会发生凝缩形成污垢,所以需要清洗工序。但是,由于本蒸镀材料中的杂质非常少,无需清洗工序,可望减少工序。

    - 通过缩短成膜前的预热时间降低成本
    由于高纯度蒸镀材料可缩短成膜前的预热时间,可以减少对成膜不起作用的蒸镀材料消耗,能降低成本。

    - 抑制成膜时从蒸镀源产生的飞溅现象,减少进行高速率蒸镀时基板上的颗粒吸附数量
    飞溅现象是在基板及成膜上引起颗粒及针孔等缺陷的,在蒸镀时发生的具有代表性的问题。此外,提高蒸镀率的成膜在提高生产效率方面也是值得期待的领域,但是蒸镀率提高得越多越容易产生飞溅现象,如何解决成了面临的课题。其原因是蒸镀材料料中所含的气体成分,由于本蒸镀材料通过改善制造工序,成功地减少了气体成分,有望带来抑制飞溅现象的效果。

    (※1)非金属夹杂物:是指金属材料内部的氧化物、硫化物等非金属物质。
    (※2)预热时间:直至蒸镀材料溶解的预先加热时间。
    (※3)飞溅现象:一种在成膜工序中在基板及成膜上引起颗粒及针孔等缺陷的,在蒸镀时发生的具有代表性的问题。
    (※4)颗粒:是指微粒、尘埃。颗粒会引起基板的特性及可靠性降低、产量下降。

    新闻稿: http://www.acnnewswire.com/clientreports/598/170110_CH.pdf


    田中控股株式会社(统筹田中贵金属集团之控股公司)

    总公司:东京都千代田区丸之内2-7-3 东京大楼22F
    代表:执行总裁 田苗 明
    创业:1885年
    设立:1918年※
    资本额:5亿日元
    集团连结员工数:5,120名(2016年度)
    集团连结营业额:1兆642亿5,900万日元(2016年度)
    集团之主要事业内容:作为田中金属集团的核心持股公司,从事战略性及效率性的集团运营及集团各企业的经营指导
    网址:http://www.tanaka.co.jp(集团), http://www.tanaka.com.cn(产业制品)
    ※2010年4月1日转换到以田中控股株式会社为控股公司的体制。

    田中贵金属工业株式会社

    总公司:东京都千代田区丸之内2-7-3 东京大楼22F
    代表:执行总裁 田苗 明
    创业:1885年
    设立:1918年
    注册资金:5亿日元
    员工人数:2,269名(截至2017年3月31日为止)
    营业额:1兆590亿332万9,000日元(2016年度)
    经营内容:制造、销售、进口及出口贵金属 (白金、金、银及其他)和各种产业用贵金属产品
    网址:http://www.tanaka.com.cn

    关于田中贵金属集团

    田中贵金属集团自1885 年(明治18年)创业以来,营业范围以贵金属为中心,并以此展开广泛活动。在日本国内,以最高水准的贵金属交易量为傲,长年以来不遗余力地进行产业用贵金属制品的制造和销售,以及提供作为宝石饰品及资产的贵金属商品。并且,作为贵金属相关的专家集团,国内外的各集团公司进行制造、销售以及技术一体化,携手合作提供产品及服务。此外,为了不断地推进全球化,在2016年还将Metalor Technologies International SA纳入了集团企业当中。

    田中贵金属集团今后也将作为贵金属的专家,通过事业的发展,为宽裕丰富的生活贡献一己之力。

    田中贵金属集团核心5家公司如下所示 :
    - 田中控股株式会社,纯粹控股公司 
    - 田中贵金属工业株式会社
    - 田中电子工业株式会社
    - 日本电镀工程株式会社
    - 田中贵金属珠宝株式会社

    报导相关咨询处
    田中控股株式会社
    https://www.tanaka.co.jp/en/protanaka/inquiry/index.php



    来源 : Tanaka Holdings Co., Ltd.


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